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0605102034

铜虫 (著名写手)

[求助] 薄膜的厚度测试

各位大侠,谁能告诉我一下怎样测定沉积在硅衬底上的金刚石薄膜的厚度,硅片的厚度在50-150μm厚,而膜厚在几微米到几十微米厚,如能告诉一下,不胜感激!!!
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liushanhu

铁杆木虫 (著名写手)


【答案】应助回帖


fbqrdzs: 金币+1, 专家解答。 2013-06-03 11:31:43
fbqrdzs: 应助指数+1 2013-06-03 11:31:48
用SEM看断面,这个最便捷
26楼2013-01-14 13:02:02
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