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0605102034

铜虫 (著名写手)

[求助] 薄膜的厚度测试

各位大侠,谁能告诉我一下怎样测定沉积在硅衬底上的金刚石薄膜的厚度,硅片的厚度在50-150μm厚,而膜厚在几微米到几十微米厚,如能告诉一下,不胜感激!!!
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Mike_Fu

金虫 (小有名气)

少将

【答案】应助回帖


chemlh: 金币+1, 欢迎积极交流 2013-01-04 20:20:22
测薄膜厚度的方法很多,台阶仪、SEM、UV、椭偏。还有一个很简单的方法就是称重,因为硅的密度一定,镀膜的面积一定,用镀膜前后的厚度差就可以计算出薄膜的厚度。这个方法希望对你有帮助
人生没有捷径
24楼2013-01-04 19:39:23
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honghong_2008

木虫 (小有名气)

爱幻想的女孩

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-12-03 22:04:09
我们一般都用SEM拍断口图片,或是用千分尺测量。
潜力是需要挖掘的!锲而舍之,朽木不折;锲而不舍,金石可镂
2楼2012-12-03 18:49:47
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zurich0609

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-12-03 22:04:16
有专门的仪器,测量厚度的,比如表面轮廓仪,就可以用来测量膜厚
有追求,知拼搏,懂坚持,才能体验那份成功!
3楼2012-12-03 19:15:59
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月下冰魂

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-12-03 22:04:26
SEM是很好的测试厚度的方法哦。并且你的厚度也比较容易!还有一个叫椭偏仪,但是一般比较少哈

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
奋斗。。。
4楼2012-12-03 19:21:57
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