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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)


[交流] 关于磁控溅射的初始条件选择问题

据了解,
对磁控溅射工艺,(制备金属薄膜),需要先在不同气压下做靶的溅射电流-溅射电压扫描,然后根据得到的多条IV曲线选择工作时溅射电流范围,请问选择哪一部分?为什么这么选择?
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dxf930

金虫 (正式写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
中间的点,不行再试试上下的点。回归曲线在中间的位置是最宽的。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
2楼2012-11-26 19:04:34
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