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lzb7758520铁杆木虫 (著名写手)
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[求助]
正性光刻胶的去除
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在硅片上进行了光刻，采用正性光刻胶(BP212-37)，然后在上面去蒸金，我现在想去除光刻胶然后保留光刻位置上的金颗粒，怎么去除该光刻胶，我问过我们所里的做光刻的，他们说用丙酮超生，我想一超生金颗粒不就全部掉了吗？大家不知道有什么办法？谢谢！ 图片见附件，我以前没有做过这方面的东西，因此附件中的图片是引用小木虫论坛上的一个帖子的，请原作者不要见怪。  [ Last edited by lzb7758520 on 2012-7-5 at 10:46 ] |
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 实验们 | 光刻 |
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nonononono
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4楼2012-07-05 16:47:53
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2楼2012-07-05 13:36:25
lzb7758520
铁杆木虫 (著名写手)
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如果是特征尺寸在2-5um的话，可以用丙酮泡3个小时左右，然后用水冲洗；5楼2012-07-19 11:08:46
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