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求助溅射镀银膜颗粒很大【附SEM图像】 已有1人参与
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我最近在用Denton Vacuum的DV-502A直流磁控溅射机在玻璃衬底上镀银膜，但是镀出来的质量非常不理想，表面平整度非常差（因为我们要用银膜做SPP相关的研究，所以平整度很重要）。 我镀膜时候使用的参数，本底真空大约在2e-6Torr，工作时通入Ar气的气压大约是2-3mTorr，镀膜时加的偏压是320V，显示的电流是0.022A，膜厚100nm左右，镀膜时间大约是30分钟这样。最后附上SEM图。 请各位前辈们帮我看下问题可能出在哪里。谢谢！！     |
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2楼2012-06-17 23:36:46
wx05351230
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