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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 求助溅射镀银膜颗粒很大【附SEM图像】
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jd37gi

新虫 (初入文坛)

[求助] 求助溅射镀银膜颗粒很大【附SEM图像】 已有1人参与

我最近在用Denton Vacuum的DV-502A直流磁控溅射机在玻璃衬底上镀银膜，但是镀出来的质量非常不理想，表面平整度非常差（因为我们要用银膜做SPP相关的研究，所以平整度很重要）。
我镀膜时候使用的参数，本底真空大约在2e-6Torr，工作时通入Ar气的气压大约是2-3mTorr，镀膜时加的偏压是320V，显示的电流是0.022A，膜厚100nm左右，镀膜时间大约是30分钟这样。最后附上SEM图。
请各位前辈们帮我看下问题可能出在哪里。谢谢！！
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1楼 2012-06-17 01:25:43
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jd37gi

新虫 (初入文坛)
自己顶一下。难道发错区了？orz
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2楼2012-06-17 23:36:46
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wx05351230

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
2楼: Originally posted by jd37gi at 2012-06-17 23:36:46
自己顶一下。难道发错区了？orz

我也遇到了这个问题，工艺一直很稳定，镀层也很平整，然后换了个靶材，镀层就出现了大颗粒，而且是比较有规律的大颗粒，类似花瓣状或丘疹状，不知道什么原因
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经世致用
3楼2019-12-13 11:15:56
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