| 查看: 1069 | 回复: 2 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
[求助]
求助溅射镀银膜颗粒很大【附SEM图像】 已有1人参与
|
||
|
我最近在用Denton Vacuum的DV-502A直流磁控溅射机在玻璃衬底上镀银膜，但是镀出来的质量非常不理想，表面平整度非常差（因为我们要用银膜做SPP相关的研究，所以平整度很重要）。 我镀膜时候使用的参数，本底真空大约在2e-6Torr，工作时通入Ar气的气压大约是2-3mTorr，镀膜时加的偏压是320V，显示的电流是0.022A，膜厚100nm左右，镀膜时间大约是30分钟这样。最后附上SEM图。 请各位前辈们帮我看下问题可能出在哪里。谢谢！！     |
回复此楼» 猜你喜欢
南京晓庄学院绿色能源材料团队招生
已经有0人回复
-
北方工业大学储能技术-02电化学储能与氢能方向招收2026级二次调剂学生
已经有0人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有220人回复
-
求助WO3.cif文件 对应PDF卡片 43-1035，单斜晶系 , P21/n 。
已经有2人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有13人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有6人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有0人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有0人回复
-
26 届青岛大学纺织化学与染整工程硕士（液体纳米分散染料方向）求申博建议
已经有3人回复
-
26 届青岛大学纺织化学与染整工程（液体纳米分散染料）求浙理工纺织 / 材料博导名额
已经有1人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 直流磁控溅射与射频磁控溅射镀银
已经有15人回复
- 新手求助，磁控溅射，在银上溅射SiO2二氧化硅
已经有15人回复
- 求助关于磁控溅射清洗方面的问题~~~急急急
已经有10人回复
- 求助关于磁控溅射的问题
已经有29人回复
- 求助：磁控溅射镀金属膜，镀不上去
已经有4人回复
- 万分火急：求助射频溅射镀膜问题
已经有3人回复
- 【求助】磁控溅射辉光稳定性求助
已经有6人回复
- 【求助】磁控溅射 ZnO镀膜
已经有16人回复
- 【求助】请教磁控溅射金属膜问题
已经有23人回复
wx05351230
铁虫 (小有名气)
- 应助: 6 (幼儿园)
- 金币: 1636.5
- 散金: 196
- 红花: 21
- 帖子: 206
- 在线: 170小时
- 虫号: 1513743
- 注册: 2011-11-28
- 性别: GG
- 专业: 结构陶瓷
3楼2019-12-13 11:15:56
2楼2012-06-17 23:36:46
5