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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 光学材料 » 薄膜应力测试
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songlinwei

木虫 (著名写手)

[交流] 薄膜应力测试

VO2光学薄膜，想测试一下薄膜与基底间的应力，不知道用什么测试好，怎样测试，求各位虫友指导！
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1楼 2012-05-20 09:49:05
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回帖置顶 ( 共有1个 )

zhougbnju

金虫 (著名写手)
★
songlinwei(金币+1): 谢谢参与
LZ问的薄膜与基底间的应力？薄膜与基底间应该只有附着力一说吧？只有薄膜内才会有应力吧。
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9楼2012-08-17 17:42:17
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普通回帖

kristina蝶

木虫 (著名写手)
★
songlinwei(金币+1): 谢谢参与
这个同问，先顶一个
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2楼2012-05-20 14:16:36
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dongjinkuang

金虫 (小有名气)
★ ★
songlinwei(金币+1): 谢谢参与
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-05-21 07:42:58
据我所知，可以用X射线衍射仪法，薄膜在受到应力的作用下，晶格会发生畸变，从而使晶格常数发生变化，测量出晶格的畸变量来测出材料所受应力的大小。
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3楼2012-05-21 00:50:59
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ymshen1980

铜虫 (小有名气)
★ ★
songlinwei(金币+1): 谢谢参与
zhaohaixing: 金币+1, 鼓励交流 2012-08-18 12:28:57
先更正一下楼主的概念，应力是薄膜内部的，是薄膜由于受基地约束产生的应力。可以通过形变的方法表征薄膜应力，即用干涉仪或应力仪测基片镀膜前后的形貌，通过通过形变用Stoney公式计算应力
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4楼2012-05-21 08:53:16
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songlinwei

木虫 (著名写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by ymshen1980 at 2012-05-21 08:53:16:
先更正一下楼主的概念，应力是薄膜内部的，是薄膜由于受基地约束产生的应力。可以通过形变的方法表征薄膜应力，即用干涉仪或应力仪测基片镀膜前后的形貌，通过通过形变用Stoney公式计算应力

我想你误解我的意思了，薄膜的应力包括，薄膜与基底间由于晶格不匹配等因素产生的应力，还有薄膜生长过程中由于某些缺陷或者热处理产生的内应力，我想问的是薄膜与基底间的应力！
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6楼2012-05-21 09:15:46
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ymshen1980

铜虫 (小有名气)
★
zhaohaixing: 金币+1, 鼓励新虫多作交流~ 2012-05-28 10:35:52
薄膜与基底间由于晶格不匹配等因素产生的应力应该归结为内应力。应力包括内应力和热应力。有关薄膜应力哟很多文献，你可以查一下。
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7楼2012-05-21 11:17:49
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xiaoqing8569

铁杆木虫 (著名写手)
★ ★
songlinwei(金币+1): 谢谢参与
zhaohaixing: 金币+1, 鼓励交流~~ 2012-05-28 10:36:02
引用回帖:
6楼: Originally posted by songlinwei at 2012-05-21 09:15:46
我想你误解我的意思了，薄膜的应力包括，薄膜与基底间由于晶格不匹配等因素产生的应力，还有薄膜生长过程中由于某些缺陷或者热处理产生的内应力，我想问的是薄膜与基底间的应力！...

本征应力=总应力（stoney公式计算）-热应力
热应力也是可以计算的
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8楼2012-05-27 22:54:48
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daisy143

至尊木虫 (职业作家)
★
songlinwei(金币+1): 谢谢参与
学习了
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10楼2012-08-17 22:35:08
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紫百合LYL

至尊木虫 (职业作家)
★
songlinwei(金币+1): 谢谢参与
受教了。。。
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11楼2013-04-24 20:04:59
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xiehaimei515

金虫 (正式写手)
★
songlinwei(金币+1): 谢谢参与
引用回帖:
4楼: Originally posted by ymshen1980 at 2012-05-21 08:53:16
先更正一下楼主的概念，应力是薄膜内部的，是薄膜由于受基地约束产生的应力。可以通过形变的方法表征薄膜应力，即用干涉仪或应力仪测基片镀膜前后的形貌，通过通过形变用Stoney公式计算应力

我想问一下，基于stoney公式计算薄膜的应力时，我现在的基底是圆盘状的，薄膜也是圆盘状的，在沉积过程中基底四周需要固定吗？还是说需要别的怎么处理
谢谢
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13楼2013-10-17 11:33:17
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qiqiqiqi5楼
2012-05-21 08:58   回复  
songlinwei(金币+1): 谢谢参与
wuyixiang12312楼
2013-04-24 20:25   回复  
祝福
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