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songlinwei

木虫 (著名写手)

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[交流] 薄膜应力测试

VO2光学薄膜，想测试一下薄膜与基底间的应力，不知道用什么测试好，怎样测试，求各位虫友指导！

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1楼 2012-05-20 09:49:05

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

xiaoqing8569

铁杆木虫 (著名写手)

应助: 37 (小学生)
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★ ★
songlinwei(金币+1): 谢谢参与
zhaohaixing: 金币+1, 鼓励交流~~ 2012-05-28 10:36:02

引用回帖:

6楼: Originally posted by songlinwei at 2012-05-21 09:15:46
我想你误解我的意思了，薄膜的应力包括，薄膜与基底间由于晶格不匹配等因素产生的应力，还有薄膜生长过程中由于某些缺陷或者热处理产生的内应力，我想问的是薄膜与基底间的应力！...

本征应力=总应力（stoney公式计算）-热应力
热应力也是可以计算的