应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 光学材料 » 薄膜应力测试
131/1返回列表
查看: 4341  |  回复: 12
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

songlinwei

木虫 (著名写手)

[交流] 薄膜应力测试

VO2光学薄膜，想测试一下薄膜与基底间的应力，不知道用什么测试好，怎样测试，求各位虫友指导！
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

铁电材料

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2012-05-20 09:49:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kristina蝶

木虫 (著名写手)
★
songlinwei(金币+1): 谢谢参与
这个同问，先顶一个
赞一下 回复此楼
2楼2012-05-20 14:16:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dongjinkuang

金虫 (小有名气)
★ ★
songlinwei(金币+1): 谢谢参与
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-05-21 07:42:58
据我所知，可以用X射线衍射仪法，薄膜在受到应力的作用下，晶格会发生畸变，从而使晶格常数发生变化，测量出晶格的畸变量来测出材料所受应力的大小。
赞一下 回复此楼
3楼2012-05-21 00:50:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ymshen1980

铜虫 (小有名气)
★ ★
songlinwei(金币+1): 谢谢参与
zhaohaixing: 金币+1, 鼓励交流 2012-08-18 12:28:57
先更正一下楼主的概念，应力是薄膜内部的，是薄膜由于受基地约束产生的应力。可以通过形变的方法表征薄膜应力，即用干涉仪或应力仪测基片镀膜前后的形貌，通过通过形变用Stoney公式计算应力
赞一下 回复此楼
4楼2012-05-21 08:53:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

songlinwei

木虫 (著名写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by ymshen1980 at 2012-05-21 08:53:16:
先更正一下楼主的概念，应力是薄膜内部的，是薄膜由于受基地约束产生的应力。可以通过形变的方法表征薄膜应力，即用干涉仪或应力仪测基片镀膜前后的形貌，通过通过形变用Stoney公式计算应力

我想你误解我的意思了，薄膜的应力包括，薄膜与基底间由于晶格不匹配等因素产生的应力，还有薄膜生长过程中由于某些缺陷或者热处理产生的内应力，我想问的是薄膜与基底间的应力！
赞一下 回复此楼
6楼2012-05-21 09:15:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ymshen1980

铜虫 (小有名气)
★
zhaohaixing: 金币+1, 鼓励新虫多作交流~ 2012-05-28 10:35:52
薄膜与基底间由于晶格不匹配等因素产生的应力应该归结为内应力。应力包括内应力和热应力。有关薄膜应力哟很多文献，你可以查一下。
赞一下 回复此楼
7楼2012-05-21 11:17:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xiaoqing8569

铁杆木虫 (著名写手)
★ ★
songlinwei(金币+1): 谢谢参与
zhaohaixing: 金币+1, 鼓励交流~~ 2012-05-28 10:36:02
引用回帖:
6楼: Originally posted by songlinwei at 2012-05-21 09:15:46
我想你误解我的意思了，薄膜的应力包括，薄膜与基底间由于晶格不匹配等因素产生的应力，还有薄膜生长过程中由于某些缺陷或者热处理产生的内应力，我想问的是薄膜与基底间的应力！...

本征应力=总应力（stoney公式计算）-热应力
热应力也是可以计算的
赞一下 回复此楼
8楼2012-05-27 22:54:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhougbnju

金虫 (著名写手)
★
songlinwei(金币+1): 谢谢参与
LZ问的薄膜与基底间的应力？薄膜与基底间应该只有附着力一说吧？只有薄膜内才会有应力吧。
赞一下 回复此楼
9楼2012-08-17 17:42:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

daisy143

至尊木虫 (职业作家)
★
songlinwei(金币+1): 谢谢参与
学习了
回复此楼
10楼2012-08-17 22:35:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

紫百合LYL

至尊木虫 (职业作家)
★
songlinwei(金币+1): 谢谢参与
受教了。。。
回复此楼
11楼2013-04-24 20:04:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xiehaimei515

金虫 (正式写手)
★
songlinwei(金币+1): 谢谢参与
引用回帖:
4楼: Originally posted by ymshen1980 at 2012-05-21 08:53:16
先更正一下楼主的概念，应力是薄膜内部的，是薄膜由于受基地约束产生的应力。可以通过形变的方法表征薄膜应力，即用干涉仪或应力仪测基片镀膜前后的形貌，通过通过形变用Stoney公式计算应力

我想问一下，基于stoney公式计算薄膜的应力时，我现在的基底是圆盘状的，薄膜也是圆盘状的，在沉积过程中基底四周需要固定吗？还是说需要别的怎么处理
谢谢
赞一下 回复此楼
13楼2013-10-17 11:33:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
简单回复
qiqiqiqi5楼
2012-05-21 08:58   回复  
songlinwei(金币+1): 谢谢参与
wuyixiang12312楼
2013-04-24 20:25   回复  
祝福
相关版块跳转 我要订阅楼主 songlinwei 的主题更新
131/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 国社科又开始会评了，不知道这次命运如何 +3 雨打竹帘 2026-08-30 4/200 2026-08-30 12:35 by 白大多亮
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +4 gy1nBQXYQJqL 2026-08-29 8/400 2026-08-30 12:03 by l0VvVHGBGRLv
[考研] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +6 ASdOkHsho7FD 2026-08-28 9/450 2026-08-30 11:30 by l0VvVHGBGRLv
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +5 ASdOkHsho7FD 2026-08-28 6/300 2026-08-30 11:18 by l0VvVHGBGRLv
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +3 G6APbkg8SA6w 2026-08-29 4/200 2026-08-30 07:28 by ZPa0EcMwuECS
[考博] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 gy1nBQXYQJqL 2026-08-29 5/250 2026-08-30 07:05 by ZPa0EcMwuECS
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +6 ASdOkHsho7FD 2026-08-28 13/650 2026-08-30 05:38 by ZPa0EcMwuECS
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +5 gy1nBQXYQJqL 2026-08-29 6/300 2026-08-30 01:58 by ZPa0EcMwuECS
[考博] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 gy1nBQXYQJqL 2026-08-29 4/200 2026-08-30 01:34 by ZPa0EcMwuECS
[基金申请] 基金不中，共勉 +11 eulota 2026-08-26 11/550 2026-08-28 14:22 by 火星超人xi
[基金申请] 怎么查啊 +6 huang1991js 2026-08-26 6/300 2026-08-28 08:42 by winsaint
[文学芳草园] 梦想 +3 myrtle 2026-08-26 3/150 2026-08-27 10:01 by angelyueyi
[基金申请] 为什么 国际(地区)合作与交流项目 没有放榜？ 10+3 majunge000 2026-08-26 11/550 2026-08-27 08:42 by 北京莱茵编辑
[基金申请] 我不理解！ +15 Edward_pc 2026-08-26 23/1150 2026-08-26 20:34 by zzuzxg
[基金申请] 能否退出参与的面上项目解除限项 +23 koalala 2026-08-24 26/1300 2026-08-26 14:29 by 宝贝虫子
[基金申请] 出来了 +9 trojank 2026-08-26 9/450 2026-08-26 14:25 by 宝贝虫子
[基金申请] 项目信息和经费信息在系统里都可以看到了 +6 wittyboy 2026-08-26 14/700 2026-08-26 10:55 by wittyboy
[基金申请] 牛来！米来！面来！ +8 beefly 2026-08-26 8/400 2026-08-26 08:37 by xuzhipiao
[基金申请] 明天应该可查了！？ +6 chengyan1220 2026-08-23 6/300 2026-08-25 19:45 by zfd97
[基金申请] 如果此刻你正在为国基感到焦虑，不妨来听听这首《基金之外》 +8 scalable 2026-08-24 8/400 2026-08-25 12:52 by jnhyjjm
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭