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songlinwei
木虫
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[交流]
薄膜应力测试
VO2光学薄膜,想测试一下薄膜与基底间的应力,不知道用什么测试好,怎样测试,求各位虫友指导!
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1楼
2012-05-20 09:49:05
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xiaoqing8569
铁杆木虫
(著名写手)
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帖子: 1822
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★ ★
songlinwei(金币+1): 谢谢参与
zhaohaixing: 金币+1, 鼓励交流~~
2012-05-28 10:36:02
引用回帖:
6楼
:
Originally posted by
songlinwei
at 2012-05-21 09:15:46
我想你误解我的意思了,薄膜的应力包括,薄膜与基底间由于晶格不匹配等因素产生的应力,还有薄膜生长过程中由于某些缺陷或者热处理产生的内应力,我想问的是薄膜与基底间的应力!...
本征应力=总应力(stoney公式计算)-热应力
热应力也是可以计算的
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8楼
2012-05-27 22:54:48
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