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songlinwei

木虫 (著名写手)

应助: 3 (幼儿园)
金币: 1478.8
帖子: 1215
在线: 128.6小时
虫号: 1271629

[交流] 薄膜应力测试

VO2光学薄膜，想测试一下薄膜与基底间的应力，不知道用什么测试好，怎样测试，求各位虫友指导！

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1楼 2012-05-20 09:49:05

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

紫百合LYL

至尊木虫 (职业作家)

应助: 162 (高中生)
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金币: 12391.8
帖子: 3663
在线: 576.4小时
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★
songlinwei(金币+1): 谢谢参与

受教了。。。

11楼2013-04-24 20:04:59

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

查看全部 13 个回答

kristina蝶

木虫 (著名写手)

应助: 45 (小学生)
金币: 6470
帖子: 2614
在线: 324.9小时
虫号: 1695646

★
songlinwei(金币+1): 谢谢参与

这个同问，先顶一个

2楼2012-05-20 14:16:36

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

dongjinkuang

金虫 (小有名气)

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帖子: 114
在线: 81小时
虫号: 1236070

★ ★
songlinwei(金币+1): 谢谢参与
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-05-21 07:42:58

据我所知，可以用X射线衍射仪法，薄膜在受到应力的作用下，晶格会发生畸变，从而使晶格常数发生变化，测量出晶格的畸变量来测出材料所受应力的大小。

3楼2012-05-21 00:50:59

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ymshen1980

铜虫 (小有名气)

应助: 10 (幼儿园)
金币: 343.5
帖子: 96
在线: 34.1小时
虫号: 1757885

★ ★
songlinwei(金币+1): 谢谢参与
zhaohaixing: 金币+1, 鼓励交流 2012-08-18 12:28:57

先更正一下楼主的概念，应力是薄膜内部的，是薄膜由于受基地约束产生的应力。可以通过形变的方法表征薄膜应力，即用干涉仪或应力仪测基片镀膜前后的形貌，通过通过形变用Stoney公式计算应力

4楼2012-05-21 08:53:16

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