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薄膜应力测试
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songlinwei
木虫
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薄膜应力测试
VO2光学薄膜,想测试一下薄膜与基底间的应力,不知道用什么测试好,怎样测试,求各位虫友指导!
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2012-05-20 09:49:05
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紫百合LYL
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★
songlinwei(金币+1): 谢谢参与
受教了。。。
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11楼
2013-04-24 20:04:59
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kristina蝶
木虫
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★
songlinwei(金币+1): 谢谢参与
这个同问,先顶一个
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2楼
2012-05-20 14:16:36
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dongjinkuang
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★ ★
songlinwei(金币+1): 谢谢参与
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流
2012-05-21 07:42:58
据我所知,可以用X射线衍射仪法,薄膜在受到应力的作用下,晶格会发生畸变,从而使晶格常数发生变化,测量出晶格的畸变量来测出材料所受应力的大小。
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3楼
2012-05-21 00:50:59
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ymshen1980
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★ ★
songlinwei(金币+1): 谢谢参与
zhaohaixing: 金币+1, 鼓励交流
2012-08-18 12:28:57
先更正一下楼主的概念,应力是薄膜内部的,是薄膜由于受基地约束产生的应力。可以通过形变的方法表征薄膜应力,即用干涉仪或应力仪测基片镀膜前后的形貌,通过通过形变用Stoney公式计算应力
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4楼
2012-05-21 08:53:16
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