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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 光学材料 » 薄膜应力测试
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songlinwei

木虫 (著名写手)

[交流] 薄膜应力测试

VO2光学薄膜，想测试一下薄膜与基底间的应力，不知道用什么测试好，怎样测试，求各位虫友指导！
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1楼2012-05-20 09:49:05
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ymshen1980

铜虫 (小有名气)
★
zhaohaixing: 金币+1, 鼓励新虫多作交流~ 2012-05-28 10:35:52
薄膜与基底间由于晶格不匹配等因素产生的应力应该归结为内应力。应力包括内应力和热应力。有关薄膜应力哟很多文献，你可以查一下。
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7楼2012-05-21 11:17:49
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kristina蝶

木虫 (著名写手)
★
songlinwei(金币+1): 谢谢参与
这个同问，先顶一个
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2楼2012-05-20 14:16:36
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dongjinkuang

金虫 (小有名气)
★ ★
songlinwei(金币+1): 谢谢参与
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-05-21 07:42:58
据我所知，可以用X射线衍射仪法，薄膜在受到应力的作用下，晶格会发生畸变，从而使晶格常数发生变化，测量出晶格的畸变量来测出材料所受应力的大小。
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3楼2012-05-21 00:50:59
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ymshen1980

铜虫 (小有名气)
★ ★
songlinwei(金币+1): 谢谢参与
zhaohaixing: 金币+1, 鼓励交流 2012-08-18 12:28:57
先更正一下楼主的概念，应力是薄膜内部的，是薄膜由于受基地约束产生的应力。可以通过形变的方法表征薄膜应力，即用干涉仪或应力仪测基片镀膜前后的形貌，通过通过形变用Stoney公式计算应力
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4楼2012-05-21 08:53:16
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