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songlinwei

木虫 (著名写手)

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[交流] 薄膜应力测试

VO2光学薄膜，想测试一下薄膜与基底间的应力，不知道用什么测试好，怎样测试，求各位虫友指导！

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1楼 2012-05-20 09:49:05

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zhougbnju

金虫 (著名写手)

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★
songlinwei(金币+1): 谢谢参与

LZ问的薄膜与基底间的应力？薄膜与基底间应该只有附着力一说吧？只有薄膜内才会有应力吧。

9楼2012-08-17 17:42:17

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查看全部 13 个回答

kristina蝶

木虫 (著名写手)

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★
songlinwei(金币+1): 谢谢参与

这个同问，先顶一个

2楼2012-05-20 14:16:36

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dongjinkuang

金虫 (小有名气)

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★ ★
songlinwei(金币+1): 谢谢参与
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-05-21 07:42:58

据我所知，可以用X射线衍射仪法，薄膜在受到应力的作用下，晶格会发生畸变，从而使晶格常数发生变化，测量出晶格的畸变量来测出材料所受应力的大小。

3楼2012-05-21 00:50:59

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ymshen1980

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★ ★
songlinwei(金币+1): 谢谢参与
zhaohaixing: 金币+1, 鼓励交流 2012-08-18 12:28:57

先更正一下楼主的概念，应力是薄膜内部的，是薄膜由于受基地约束产生的应力。可以通过形变的方法表征薄膜应力，即用干涉仪或应力仪测基片镀膜前后的形貌，通过通过形变用Stoney公式计算应力

4楼2012-05-21 08:53:16

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