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songlinwei

木虫 (著名写手)

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[交流] 薄膜应力测试

VO2光学薄膜，想测试一下薄膜与基底间的应力，不知道用什么测试好，怎样测试，求各位虫友指导！

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1楼 2012-05-20 09:49:05

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

xiehaimei515

金虫 (正式写手)

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★
songlinwei(金币+1): 谢谢参与

引用回帖:

4楼: Originally posted by ymshen1980 at 2012-05-21 08:53:16
先更正一下楼主的概念，应力是薄膜内部的，是薄膜由于受基地约束产生的应力。可以通过形变的方法表征薄膜应力，即用干涉仪或应力仪测基片镀膜前后的形貌，通过通过形变用Stoney公式计算应力

我想问一下，基于stoney公式计算薄膜的应力时，我现在的基底是圆盘状的，薄膜也是圆盘状的，在沉积过程中基底四周需要固定吗？还是说需要别的怎么处理
谢谢