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huibenben金虫 (小有名气)
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正面长有氮化硅(Si3N4)的硅片怎样去除硅片背面的薄淡化硅层(~几nm)
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| 我想用长有氮化硅的硅片作OTFT衬底,怎样去除硅片背面的薄氮化硅(约几nm)层,以露出硅用作OTFT的栅电极(实验室用)。各位帅锅,美女,求助!有知道的回个帖,谢谢! |
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liu2004m
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2楼2012-05-16 13:15:37
huibenben
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6楼2012-06-14 08:47:57













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