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抛光的硅片是否要去机械损伤层
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想求教一下抛光的硅片在清洗时是否要去机械损伤层? 我们上一次用20%的NaOH85℃恒温五分钟去机械损伤层,发现硅片上竟然有一些白色的东西,用盐酸和硝酸都去不掉。请问有办法解决吗?非常感谢! |
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