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抛光的硅片是否要去机械损伤层
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想求教一下抛光的硅片在清洗时是否要去机械损伤层？ 我们上一次用20%的NaOH85℃恒温五分钟去机械损伤层，发现硅片上竟然有一些白色的东西，用盐酸和硝酸都去不掉。请问有办法解决吗？非常感谢！ |
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