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huibenben

金虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
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[求助] 正面长有氮化硅（Si3N4）的硅片怎样去除硅片背面的薄淡化硅层（~几nm）

我想用长有氮化硅的硅片作OTFT衬底，怎样去除硅片背面的薄氮化硅（约几nm）层，以露出硅用作OTFT的栅电极（实验室用）。各位帅锅，美女，求助！有知道的回个帖，谢谢！

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khome1987

1楼2012-05-16 09:54:40

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liu2004m

荣誉版主 (文坛精英)

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【答案】应助回帖

★ ★
huibenben: 金币+2, 博学EPI+1, ★★★很有帮助 2012-05-16 21:20:48

用氢氟酸腐蚀去掉就行了
不过注意安全

2楼2012-05-16 13:15:37

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