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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 有没有人用磁控溅射做过alpha-Fe2O3，用的靶材是什么
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城管队长

金虫 (正式写手)

[求助] 有没有人用磁控溅射做过alpha-Fe2O3，用的靶材是什么

RT
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1楼 2012-05-14 14:18:41
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tt.yao

荣誉版主 (知名作家)

爱思考的小强

优秀区长优秀版主优秀版主
做化学的，一般好像不用这个方法。
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行，成于思，毁于随！
2楼2012-05-14 14:40:13
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crocodilecel

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
城管队长: 金币+5, ★★★★★最佳答案 2012-08-09 09:29:17
个人认为可以用铁耙，通氧气。
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3楼2012-05-14 15:10:43
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城管队长

金虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by crocodilecel at 2012-05-14 15:10:43:
个人认为可以用铁耙，通氧气。

可不可以溅射时候用铁靶，然后在空气氛中退火？
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4楼2012-05-14 17:00:25
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koufuye008

捐助贵宾 (正式写手)

继续前行

【答案】应助回帖

可用铁靶 ，然后用O2  plasma打一下
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5楼2012-05-23 10:17:48
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匿名

用户注销 (小有名气)
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6楼2014-12-23 20:58:03
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离弦的箭

银虫 (小有名气)
请问楼主后来是如何溅射Fe2O3的？谢谢
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仰望星空，脚踏实地！
7楼2017-03-16 13:19:40
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