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洋洋njust

新虫 (初入文坛)

[求助] 薄膜厚度测量

玻璃上镀3层膜,大概几百纳米的厚度,如果要精确测量膜厚,该怎么测量?
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lwj1024

木虫 (小有名气)


phu_grassman: 金币+1, 感谢交流! 2012-04-01 21:26:14
采用椭圆偏振光谱仪,可以精确到个位数纳米

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

2楼2012-04-01 16:31:05
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crocodilecel

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
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phu_grassman: 金币+1, 感谢交流! 2012-04-01 21:26:00
洋洋njust: 金币+5 2012-04-09 15:17:43
台阶仪吧,侧量准确,不过费用比较高
4楼2012-04-01 19:31:57
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XSF_A_10

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
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phu_grassman: 金币+1, 感谢交流! 2012-04-01 21:25:46
洋洋njust: 金币+5 2012-04-09 15:17:58
台阶仪!10nm分辨没问题,关键是你的基地必须平整,或者抛光.
5楼2012-04-01 20:48:48
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foxs2

木虫 (文坛精英)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
洋洋njust: 金币+5 2012-04-09 15:18:07
1.把基片切断或掰断,照断面SEM,可以直接量出每一层的厚度。
2.用刀片划在膜层上划一条线,需划透膜层,用台阶仪测出的高度就是3层膜层的总厚度。
6楼2012-04-01 21:46:45
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nkqijw

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
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洋洋njust: 金币+5, ★★★很有帮助 2012-04-09 15:18:25
洋洋njust: 金币+10, ★★★很有帮助 2012-04-22 21:32:13
台阶仪和原子力显微镜都可以做
原子力需要比较好的边界,这样才准确。
要想测量每一层的厚度,可以按照楼上
说的,做截面然后SEM,这个非常精准。
或者在镀膜时有准备,一层一层能在俯视图
上分开,这样台阶仪和原子力也能测单独膜厚了。
我有我道,坚持本心。
7楼2012-04-01 23:22:43
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wy_xj

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

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洋洋njust: 金币+5, ★★★很有帮助 2012-04-09 15:16:27
XPS和AES加上离子溅射就可以,不过最好有标准薄膜的样品校正仪器
11楼2012-04-04 09:48:28
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洋洋njust

新虫 (初入文坛)

送鲜花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by lwj1024 at 2012-04-01 16:31:05:
采用椭圆偏振光谱仪,可以精确到个位数纳米

谢谢~~
3楼2012-04-01 16:44:01
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zhxfish

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
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洋洋njust: 金币+5, ★★★很有帮助 2012-04-09 15:18:39
这个你应该是知道材料大致的光学常数(折射率和消光系数)和大概的厚度范围的,这样你可以建立sub/F1/F2/F3/air模型拟合得到,这个得到的光学概念的厚度。
另外可以使用SIMS来测定,这个测定的也可以用,不过国内能测的地方不多。
用断面SEM测定不太准,因为不是每个的界面都很明显。
如果你有单层的样品,可以使用台阶仪,如果已经三层复合,台阶仪只能测中厚度。
希望对你有帮助,你可以说得更加详细一些。
人生聚散本无常,偶然聚合便顷刻要分离,虽然遗憾,又何必悲伤,命运难期,何处不能要逢。我愧无嘉言懿行,足为兄助,但愿他日重逢,耿耿此心依旧,为兄一饮庆.
8楼2012-04-02 01:58:27
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yuan999

专家顾问 (知名作家)

【答案】应助回帖

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洋洋njust: 金币+5, ★★★很有帮助 2012-04-09 15:18:48
1. 可以做个截面,然后测试SEM,如果截面做的好的话,应该很容易和准确测试出薄膜的厚度;
2. 台阶仪,要做好台阶,然后测试,多选几个点,求平均,这样要准确点。
当然,还可以用椭偏仪,不过这种仪器要有合适的模型,而且要懂得拟合,才可以准确算出膜厚,而且很多单位没有这种仪器。
我~心~依~旧
9楼2012-04-02 09:46:25
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zhywind200

铜虫 (正式写手)

小角XRD能测  AFM也能
10楼2012-04-03 18:23:48
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