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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 薄膜厚度测量
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洋洋njust

新虫 (初入文坛)

[求助] 薄膜厚度测量

玻璃上镀3层膜，大概几百纳米的厚度，如果要精确测量膜厚，该怎么测量？
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1楼 2012-04-01 16:12:16
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

lwj1024

木虫 (小有名气)
★
phu_grassman: 金币+1, 感谢交流！ 2012-04-01 21:26:14
采用椭圆偏振光谱仪，可以精确到个位数纳米
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» 本帖已获得的红花（最新10朵）

洋洋njust
2楼2012-04-01 16:31:05
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crocodilecel

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
phu_grassman: 金币+1, 感谢交流！ 2012-04-01 21:26:00
洋洋njust: 金币+5 2012-04-09 15:17:43
台阶仪吧，侧量准确，不过费用比较高
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4楼2012-04-01 19:31:57
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XSF_A_10

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
phu_grassman: 金币+1, 感谢交流！ 2012-04-01 21:25:46
洋洋njust: 金币+5 2012-04-09 15:17:58
台阶仪!10nm分辨没问题,关键是你的基地必须平整,或者抛光.
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5楼2012-04-01 20:48:48
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foxs2

木虫 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
洋洋njust: 金币+5 2012-04-09 15:18:07
1.把基片切断或掰断，照断面SEM，可以直接量出每一层的厚度。
2.用刀片划在膜层上划一条线，需划透膜层，用台阶仪测出的高度就是3层膜层的总厚度。
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6楼2012-04-01 21:46:45
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nkqijw

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
洋洋njust: 金币+5, ★★★很有帮助 2012-04-09 15:18:25
洋洋njust: 金币+10, ★★★很有帮助 2012-04-22 21:32:13
台阶仪和原子力显微镜都可以做
原子力需要比较好的边界，这样才准确。
要想测量每一层的厚度，可以按照楼上
说的，做截面然后SEM，这个非常精准。
或者在镀膜时有准备，一层一层能在俯视图
上分开，这样台阶仪和原子力也能测单独膜厚了。
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我有我道，坚持本心。
7楼2012-04-01 23:22:43
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wy_xj

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
洋洋njust: 金币+5, ★★★很有帮助 2012-04-09 15:16:27
XPS和AES加上离子溅射就可以，不过最好有标准薄膜的样品校正仪器
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11楼2012-04-04 09:48:28
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普通回帖

洋洋njust

新虫 (初入文坛)
送鲜花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by lwj1024 at 2012-04-01 16:31:05:
采用椭圆偏振光谱仪，可以精确到个位数纳米

谢谢~~
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3楼2012-04-01 16:44:01
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zhxfish

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
洋洋njust: 金币+5, ★★★很有帮助 2012-04-09 15:18:39
这个你应该是知道材料大致的光学常数(折射率和消光系数)和大概的厚度范围的，这样你可以建立sub/F1/F2/F3/air模型拟合得到，这个得到的光学概念的厚度。
另外可以使用SIMS来测定，这个测定的也可以用，不过国内能测的地方不多。
用断面SEM测定不太准，因为不是每个的界面都很明显。
如果你有单层的样品，可以使用台阶仪，如果已经三层复合，台阶仪只能测中厚度。
希望对你有帮助，你可以说得更加详细一些。
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人生聚散本无常，偶然聚合便顷刻要分离，虽然遗憾，又何必悲伤，命运难期，何处不能要逢。我愧无嘉言懿行，足为兄助，但愿他日重逢，耿耿此心依旧，为兄一饮庆.
8楼2012-04-02 01:58:27
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yuan999

专家顾问 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
洋洋njust: 金币+5, ★★★很有帮助 2012-04-09 15:18:48
1. 可以做个截面，然后测试SEM，如果截面做的好的话，应该很容易和准确测试出薄膜的厚度；
2. 台阶仪，要做好台阶，然后测试，多选几个点，求平均，这样要准确点。
当然，还可以用椭偏仪，不过这种仪器要有合适的模型，而且要懂得拟合，才可以准确算出膜厚，而且很多单位没有这种仪器。
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我~心~依~旧
9楼2012-04-02 09:46:25
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zhywind200

铜虫 (正式写手)
小角XRD能测  AFM也能
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10楼2012-04-03 18:23:48
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