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洋洋njust

新虫 (初入文坛)

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[求助] 薄膜厚度测量

玻璃上镀3层膜，大概几百纳米的厚度，如果要精确测量膜厚，该怎么测量？

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1楼 2012-04-01 16:12:16

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yuan999

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【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
洋洋njust: 金币+5, ★★★很有帮助 2012-04-09 15:18:48

1. 可以做个截面，然后测试SEM，如果截面做的好的话，应该很容易和准确测试出薄膜的厚度；
2. 台阶仪，要做好台阶，然后测试，多选几个点，求平均，这样要准确点。
当然，还可以用椭偏仪，不过这种仪器要有合适的模型，而且要懂得拟合，才可以准确算出膜厚，而且很多单位没有这种仪器。

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我~心~依~旧

9楼2012-04-02 09:46:25

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lwj1024

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★
phu_grassman: 金币+1, 感谢交流！ 2012-04-01 21:26:14

采用椭圆偏振光谱仪，可以精确到个位数纳米

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洋洋njust

2楼2012-04-01 16:31:05

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洋洋njust

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引用回帖:

2楼: Originally posted by lwj1024 at 2012-04-01 16:31:05:
采用椭圆偏振光谱仪，可以精确到个位数纳米

谢谢~~

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3楼2012-04-01 16:44:01

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crocodilecel

木虫 (著名写手)

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【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
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phu_grassman: 金币+1, 感谢交流！ 2012-04-01 21:26:00
洋洋njust: 金币+5 2012-04-09 15:17:43

台阶仪吧，侧量准确，不过费用比较高

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4楼2012-04-01 19:31:57

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