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洋洋njust

新虫 (初入文坛)

[求助] 薄膜厚度测量

玻璃上镀3层膜,大概几百纳米的厚度,如果要精确测量膜厚,该怎么测量?
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foxs2

木虫 (文坛精英)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
洋洋njust: 金币+5 2012-04-09 15:18:07
1.把基片切断或掰断,照断面SEM,可以直接量出每一层的厚度。
2.用刀片划在膜层上划一条线,需划透膜层,用台阶仪测出的高度就是3层膜层的总厚度。
6楼2012-04-01 21:46:45
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lwj1024

木虫 (小有名气)


phu_grassman: 金币+1, 感谢交流! 2012-04-01 21:26:14
采用椭圆偏振光谱仪,可以精确到个位数纳米

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

2楼2012-04-01 16:31:05
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洋洋njust

新虫 (初入文坛)

送鲜花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by lwj1024 at 2012-04-01 16:31:05:
采用椭圆偏振光谱仪,可以精确到个位数纳米

谢谢~~
3楼2012-04-01 16:44:01
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crocodilecel

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
phu_grassman: 金币+1, 感谢交流! 2012-04-01 21:26:00
洋洋njust: 金币+5 2012-04-09 15:17:43
台阶仪吧,侧量准确,不过费用比较高
4楼2012-04-01 19:31:57
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