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洋洋njust

新虫 (初入文坛)

[求助] 薄膜厚度测量

玻璃上镀3层膜,大概几百纳米的厚度,如果要精确测量膜厚,该怎么测量?
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foxs2

木虫 (文坛精英)


【答案】应助回帖

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洋洋njust: 金币+5 2012-04-09 15:18:07
1.把基片切断或掰断,照断面SEM,可以直接量出每一层的厚度。
2.用刀片划在膜层上划一条线,需划透膜层,用台阶仪测出的高度就是3层膜层的总厚度。
6楼2012-04-01 21:46:45
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