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wy_xj

木虫 (正式写手)

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洋洋njust: 金币+5, ★★★很有帮助 2012-04-09 15:16:27
XPS和AES加上离子溅射就可以,不过最好有标准薄膜的样品校正仪器
11楼2012-04-04 09:48:28
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forest_wong

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

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洋洋njust: 金币+5, ★★★很有帮助 2012-04-09 15:16:39
采用台阶仪相对较好,但是一定要注意划片子的时候不要把基地也划出来,最好的方法是在长薄膜的时候挡一个台阶出来。其次是椭圆偏振仪。

不建议用SEM,更不建议用SIMS,太贵了,你说呢?
12楼2012-04-05 10:37:17
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