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木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

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洋洋njust: 金币+5, ★★★很有帮助 2012-04-09 15:16:27

XPS和AES加上离子溅射就可以，不过最好有标准薄膜的样品校正仪器

11楼2012-04-04 09:48:28

金虫 (正式写手)

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洋洋njust: 金币+5, ★★★很有帮助 2012-04-09 15:16:39

采用台阶仪相对较好，但是一定要注意划片子的时候不要把基地也划出来，最好的方法是在长薄膜的时候挡一个台阶出来。其次是椭圆偏振仪。

不建议用SEM，更不建议用SIMS，太贵了，你说呢？

12楼2012-04-05 10:37:17

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