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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 薄膜厚度测量
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洋洋njust

新虫 (初入文坛)

[求助] 薄膜厚度测量

玻璃上镀3层膜，大概几百纳米的厚度，如果要精确测量膜厚，该怎么测量？
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1楼2012-04-01 16:12:16
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forest_wong

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
洋洋njust: 金币+5, ★★★很有帮助 2012-04-09 15:16:39
采用台阶仪相对较好，但是一定要注意划片子的时候不要把基地也划出来，最好的方法是在长薄膜的时候挡一个台阶出来。其次是椭圆偏振仪。

不建议用SEM，更不建议用SIMS，太贵了，你说呢？
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12楼2012-04-05 10:37:17
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lwj1024

木虫 (小有名气)
★
phu_grassman: 金币+1, 感谢交流！ 2012-04-01 21:26:14
采用椭圆偏振光谱仪，可以精确到个位数纳米
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» 本帖已获得的红花（最新10朵）

洋洋njust
2楼2012-04-01 16:31:05
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洋洋njust

新虫 (初入文坛)
送鲜花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by lwj1024 at 2012-04-01 16:31:05:
采用椭圆偏振光谱仪，可以精确到个位数纳米

谢谢~~
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3楼2012-04-01 16:44:01
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crocodilecel

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
phu_grassman: 金币+1, 感谢交流！ 2012-04-01 21:26:00
洋洋njust: 金币+5 2012-04-09 15:17:43
台阶仪吧，侧量准确，不过费用比较高
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4楼2012-04-01 19:31:57
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