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洋洋njust

新虫 (初入文坛)

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[求助] 薄膜厚度测量

玻璃上镀3层膜，大概几百纳米的厚度，如果要精确测量膜厚，该怎么测量？

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1楼 2012-04-01 16:12:16

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zhxfish

金虫 (著名写手)

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【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
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洋洋njust: 金币+5, ★★★很有帮助 2012-04-09 15:18:39

这个你应该是知道材料大致的光学常数(折射率和消光系数)和大概的厚度范围的，这样你可以建立sub/F1/F2/F3/air模型拟合得到，这个得到的光学概念的厚度。
另外可以使用SIMS来测定，这个测定的也可以用，不过国内能测的地方不多。
用断面SEM测定不太准，因为不是每个的界面都很明显。
如果你有单层的样品，可以使用台阶仪，如果已经三层复合，台阶仪只能测中厚度。
希望对你有帮助，你可以说得更加详细一些。

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人生聚散本无常，偶然聚合便顷刻要分离，虽然遗憾，又何必悲伤，命运难期，何处不能要逢。我愧无嘉言懿行，足为兄助，但愿他日重逢，耿耿此心依旧，为兄一饮庆.

8楼2012-04-02 01:58:27

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lwj1024

木虫 (小有名气)

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★
phu_grassman: 金币+1, 感谢交流！ 2012-04-01 21:26:14

采用椭圆偏振光谱仪，可以精确到个位数纳米

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洋洋njust

2楼2012-04-01 16:31:05

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洋洋njust

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引用回帖:

2楼: Originally posted by lwj1024 at 2012-04-01 16:31:05:
采用椭圆偏振光谱仪，可以精确到个位数纳米

谢谢~~

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3楼2012-04-01 16:44:01

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crocodilecel

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【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
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phu_grassman: 金币+1, 感谢交流！ 2012-04-01 21:26:00
洋洋njust: 金币+5 2012-04-09 15:17:43

台阶仪吧，侧量准确，不过费用比较高

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4楼2012-04-01 19:31:57

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