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洋洋njust

新虫 (初入文坛)

[求助] 薄膜厚度测量

玻璃上镀3层膜,大概几百纳米的厚度,如果要精确测量膜厚,该怎么测量?
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zhxfish

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
洋洋njust: 金币+5, ★★★很有帮助 2012-04-09 15:18:39
这个你应该是知道材料大致的光学常数(折射率和消光系数)和大概的厚度范围的,这样你可以建立sub/F1/F2/F3/air模型拟合得到,这个得到的光学概念的厚度。
另外可以使用SIMS来测定,这个测定的也可以用,不过国内能测的地方不多。
用断面SEM测定不太准,因为不是每个的界面都很明显。
如果你有单层的样品,可以使用台阶仪,如果已经三层复合,台阶仪只能测中厚度。
希望对你有帮助,你可以说得更加详细一些。
人生聚散本无常,偶然聚合便顷刻要分离,虽然遗憾,又何必悲伤,命运难期,何处不能要逢。我愧无嘉言懿行,足为兄助,但愿他日重逢,耿耿此心依旧,为兄一饮庆.
8楼2012-04-02 01:58:27
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lwj1024

木虫 (小有名气)


phu_grassman: 金币+1, 感谢交流! 2012-04-01 21:26:14
采用椭圆偏振光谱仪,可以精确到个位数纳米

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

2楼2012-04-01 16:31:05
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洋洋njust

新虫 (初入文坛)

送鲜花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by lwj1024 at 2012-04-01 16:31:05:
采用椭圆偏振光谱仪,可以精确到个位数纳米

谢谢~~
3楼2012-04-01 16:44:01
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crocodilecel

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
phu_grassman: 金币+1, 感谢交流! 2012-04-01 21:26:00
洋洋njust: 金币+5 2012-04-09 15:17:43
台阶仪吧,侧量准确,不过费用比较高
4楼2012-04-01 19:31:57
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