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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 基础研究 » 磁控溅射 镀铝
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lcycomcn

铁杆木虫 (著名写手)

千年虫

[求助] 磁控溅射 镀铝

请问高手，我用射频、直流两种磁控溅射的方法在载玻片上镀铝，溅射的压强为1.5pa或0.5pa，溅射的功率从50w、100w、150w、200w，靶和基片的距离5cm。溅射时间40分钟以上。分别做了近10次试验，每次都能正常起辉，颜色为紫色，偏红。可就是镀不上，载玻片上只能可能到很薄的蓝色的膜，铝膜应该是银色的吧？请问高手有什么解决办法？各位有什么经验传授一下啊！万分感激!
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宁静以致远
1楼 2012-03-29 14:57:46
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lcycomcn

铁杆木虫 (著名写手)

千年虫
自己 先顶一下
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宁静以致远
2楼2012-03-29 15:57:12
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yin_nuaa

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
Zpffpz: 金币+1, 谢谢交流 2012-03-29 23:32:08
lcycomcn: 金币+2 2012-03-30 09:45:56
你好，我是磁控溅射金属镀铝的，可能是你的镀的时间太短，还有就是气压太大了，磁控溅射要求气压很高，我们在10 -3Pa下做实验的
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只有互助我们才能双赢。
3楼2012-03-29 22:49:48
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zxqofjgsu

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
qlf_126: 金币+1, 感谢参与！希望多来金属版交流！ 2012-03-30 07:53:19
lcycomcn: 金币+2, ★有帮助 2012-03-30 09:45:51
我记得我以前做直流磁控溅射的靶基距离十五厘米左右，其它参数和你的差不多
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新材料制备
4楼2012-03-30 00:28:53
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spyan581

木虫 (著名写手)

欣星赏月

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
engle028: 金币+1, 感谢交流 2012-03-31 19:31:22
lcycomcn: 金币+46, ★★★很有帮助, 确实没有过渡层啊！怎么反溅射啊？ 2012-04-01 14:26:03
从你简短的叙述看，应该是因为没有溅射清洗，缺少过渡层的原因。
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与君共学共进
5楼2012-03-31 19:20:40
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zyeqing

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
zhyq8767: 金币+1, 专家考核, 感谢交流 2012-03-31 21:41:31
我做过类似工作
气压30pa
其他参数接近
可以镀上
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6楼2012-03-31 20:02:59
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leongoall

专家顾问 (知名作家)

P-M-I之初生牛犊

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
zhyq8767: 金币+1, 感谢交流 2012-03-31 21:41:45
靶和基片距离才5cm？这太短了，使得刚刚沉积上去的Al又被氩离子给溅射掉了，你如何能镀上呢？我看功率、气压那些参数都没问题，楼主试试将靶基距离拉大一点！
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趁年轻，多折腾！曾年轻，折腾过？！
7楼2012-03-31 20:20:31
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kuailefyz

木虫 (正式写手)
调整下靶基距试下吧
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激情可以创造奇迹
8楼2012-03-31 21:18:50
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hyit123

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
yongyong2050: 金币+1, 感谢交流~ 2012-04-01 14:36:50
辉光颜色偏红是不是溅射室有点微漏，薄膜呈现蓝色一说明存在微漏，二说明太薄，我去年在载玻片上直流30W，0.2PA，15min，薄膜颜色就是银白色的。此外就向上面朋友回复你的一样，载玻片清洗后要反溅射清洗的。
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9楼2012-04-01 09:48:41
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wydmhy

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
qlf_126: 金币+1, 感谢参与！淡定，今天鱼人节嘛！！！ 2012-04-01 09:56:45
内容已删除
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10楼2012-04-01 09:54:51
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