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lcycomcn铁杆木虫 (著名写手)
千年虫
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[求助]
磁控溅射 镀铝
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| 请问高手,我用射频、直流两种磁控溅射的方法在载玻片上镀铝,溅射的压强为1.5pa或0.5pa,溅射的功率从50w、100w、150w、200w,靶和基片的距离5cm。溅射时间40分钟以上。分别做了近10次试验,每次都能正常起辉,颜色为紫色,偏红。可就是镀不上,载玻片上只能可能到很薄的蓝色的膜,铝膜应该是银色的吧?请问高手有什么解决办法?各位有什么经验传授一下啊!万分感激! |
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leongoall
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7楼2012-03-31 20:20:31







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