| 查看: 1368 | 回复: 3 | ||
[求助]
关于磁控溅射控制膜厚的问题 已有2人参与
|
|
我是用磁控溅射法镀多层膜，研究其光谱特性的。现在要镀的ag、si、sio2等膜厚主要集中在5-20纳米，实验过程中发现这个厚度很难控制，而且重复度比较差。 之前我在固定工艺下溅射不同时间，然后用椭偏仪测了这些膜的n，k，d。发现两个问题：1.膜厚较小时折射率随厚度变化比较大；2.膜厚较小时，膜厚与时间的关系不是线性的，而且重复性比较差。 我一直做不出令自己满意的样品，不知是不是这些原因导致的。不知大家有没有遇到过类似问题。顺便问一下大家膜厚是怎么定的。 我用的镀膜机是沈阳科仪的JGP800。 谢谢！ |
回复此楼» 猜你喜欢
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有13人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有6人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有207人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有0人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有0人回复
-
26 届青岛大学纺织化学与染整工程硕士（液体纳米分散染料方向）求申博建议
已经有4人回复
-
26 届青岛大学纺织化学与染整工程（液体纳米分散染料）求浙理工纺织 / 材料博导名额
已经有1人回复
-
敢问Acta Pharmaceutica Sinica B with Editor 三周了，能是什么情况？
已经有0人回复
-
求助 CeO2 Fe3O4 Cu2S CoFe2O4 标准卡 Jade 导出的数据
已经有0人回复
-
招生--河北大学26年秋季入学博士
已经有1人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 磁控溅射做薄膜失败了吗
已经有21人回复
- 求助关于磁控溅射的问题
已经有29人回复
- 求助：磁控溅射镀金属膜，镀不上去
已经有4人回复
- 直流磁控溅射镀膜总是被氧化
已经有42人回复
- 我用磁控溅射镀的硼膜，是这个样子的，请问高手们是什么原因，该怎么办？
已经有9人回复
- 【请教】请教，关于Ar磁控溅射的溅射效率问题
已经有4人回复
- 【求助】磁控溅射 ZnO镀膜
已经有16人回复
- 【求助】请教磁控溅射金属膜问题
已经有23人回复
- 【交流】请问用磁控溅射镀Ag膜时怎样留下出一条台阶以方便后面用台阶仪测其厚度呢？
已经有26人回复
- 磁控溅射金膜
已经有13人回复
2楼2012-03-05 17:37:17
|
本帖内容被屏蔽 |
3楼2014-05-16 09:46:37
finetx
铜虫 (小有名气)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 130.1
- 散金: 30
- 帖子: 111
- 在线: 48.8小时
- 虫号: 1325316
- 注册: 2011-06-17
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
4楼2014-06-10 15:18:42