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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 基础研究 » 关于磁控溅射
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pll18

木虫 (小有名气)

[求助] 关于磁控溅射

新接触这块，有很多不懂的地方，问题很白，求解~~
直流磁控反应溅射和离子束磁控溅射 是一个概念吗？

一般做离子束磁控溅射都需要控制哪些参数？
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1楼 2011-11-28 21:48:05
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zhou5950

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★
zhyq8767(金币+1): 感谢交流！ 2011-11-30 10:16:20
肯定不是啊，多看文献把，这种问题太白了
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2楼2011-11-30 10:02:46
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