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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 设计与制备 » 磁控溅射靶材
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mjx150

荣誉版主 (正式写手)

[求助] 磁控溅射靶材

一次实验过程中，由于电压没有调上去（不知什么原因），就继续实验，然后靶材被击穿了，炉膛发黑，请问是什么原因造成上述现象？
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Theworstsituationbroughtoutthebestofyou.
1楼 2011-11-27 22:42:42
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哗哗明明

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

mjx150(金币+1): 2011-12-01 15:00:57
电压跳不上去；但不表示电流没有上去。可以断开电源；直接用三用表测量电阻值。电阻值应该很大。（切记 断掉电源） 电阻值小 则是短路了
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5楼2011-11-30 20:17:03
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oliver6539

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

mjx150(金币+2): 我先试下 2011-11-28 08:14:41
感觉是不是靶材的阴阳极局部短路了，建议楼主开腔，测一下是不是阴阳极导通了
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2楼2011-11-28 06:50:53
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上海四缤

新虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

★
nofrunolif(金币+1): 谢谢交流 2011-11-28 13:29:51
操作时是否已经起弧，如果不是阴阳极短路的话，就要看看你的腔体气氛是否异常。
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3楼2011-11-28 12:32:00
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wydmhy

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

mjx150(金币+1): 2011-11-28 18:42:26
“电压没有调上去”？是调了，但电压上不去，还是什么意思，用摇表摇一摇靶和机壳的绝缘！
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4楼2011-11-28 14:34:04
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