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mjx150

荣誉版主 (正式写手)

[求助] 磁控溅射靶材

一次实验过程中,由于电压没有调上去(不知什么原因),就继续实验,然后靶材被击穿了,炉膛发黑,请问是什么原因造成上述现象?
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Theworstsituationbroughtoutthebestofyou.
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wydmhy

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

mjx150(金币+1): 2011-11-28 18:42:26
“电压没有调上去”?是调了,但电压上不去,还是什么意思,用摇表摇一摇靶和机壳的绝缘!
4楼2011-11-28 14:34:04
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oliver6539

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

mjx150(金币+2): 我先试下 2011-11-28 08:14:41
感觉是不是靶材的阴阳极局部短路了,建议楼主开腔,测一下是不是阴阳极导通了
2楼2011-11-28 06:50:53
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上海四缤

新虫 (知名作家)


【答案】应助回帖


nofrunolif(金币+1): 谢谢交流 2011-11-28 13:29:51
操作时是否已经起弧,如果不是阴阳极短路的话,就要看看你的腔体气氛是否异常。
3楼2011-11-28 12:32:00
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哗哗明明

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

mjx150(金币+1): 2011-12-01 15:00:57
电压跳不上去;但不表示电流没有上去。可以断开电源;直接用三用表测量电阻值。电阻值应该很大。(切记 断掉电源) 电阻值小 则是短路了
5楼2011-11-30 20:17:03
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