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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 磁性材料 » 请问怎样用Fe2O3为靶材磁控溅射Fe3O4薄膜？
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diracdelta

金虫 (著名写手)

Dr

[求助] 请问怎样用Fe2O3为靶材磁控溅射Fe3O4薄膜？

用Fe2O3为靶材磁控溅射Fe3O4薄膜？

[ 来自科研家族 磁性材料 ]
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bigideas
1楼 2011-09-01 10:51:55
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juloong

木虫 (职业作家)

X射线衍/散射测试

【答案】应助回帖

我猜可能需要适当的还原气氛吧
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3楼2011-09-01 11:05:25
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juloong

木虫 (职业作家)

X射线衍/散射测试

【答案】应助回帖

我见过直接用Fe3O4靶材打薄膜，没见过Fe2O3打Fe3O4薄膜
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2楼2011-09-01 11:05:03
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poohpan

银虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

通入氧气 你试试 我觉得两种组分主要是氧气充足与否造成的
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4楼2011-09-03 09:17:50
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kevinman

禁虫 (小有名气)
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5楼2011-10-13 05:14:39
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