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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 用磁控溅射在硅片上镀硼膜
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玖月冥

金虫 (正式写手)

[求助] 用磁控溅射在硅片上镀硼膜

如题，镀完后硅片放置一段时间后，有的显蓝色，有的显紫色，是怎么回事另外如何在镀完后看出膜的效果？我总感觉自己的好像没镀上。。。
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1楼 2011-08-09 09:33:30
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在自己的王国

铁杆木虫 (正式写手)
颜色不一样是不是不同区域厚度不太一样导致的啊
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2楼2011-08-12 16:07:03
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aifendou

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

玖月冥(金币+5): 2011-08-14 22:29:49
玖月冥(金币+5): 2011-08-17 13:46:28
我感觉应该说是一方面可能是膜的厚度不同，另一方面是可能发生了氧化吧。
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博爱，上孝父母，感恩老师同学，以及身边所有的朋友！
3楼2011-08-13 20:10:01
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zzq18340

新虫 (初入文坛)
请问楼主镀膜用的什么参数啊，我要在镍基单晶上镀层硼膜啊。求
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好好加油！
4楼2014-09-22 22:36:45
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征梦小子

银虫 (正式写手)
楼主是用的射频电源嘛？
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5楼2019-09-05 10:39:27
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