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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 交流互助 » 采用CVD制备的涂层一般是压应力还是拉应力？
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永远爱家的YY

金虫 (小有名气)

[交流] 采用CVD制备的涂层一般是压应力还是拉应力？ 已有5人参与

我测出来CVD制备出的TiCN涂层是压应力的，而且数值还很大。
  但老师说一般CVD制备出来的涂层都是拉应力，而且理论来说这种涂层的应力应该很小的。
不知各位有测过这方面的涂层的应力吗？
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没有人能随随便便成功
1楼 2011-07-12 09:08:48
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nwpu_ranger

木虫 (正式写手)

铁血川军团
★
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引用回帖:
Originally posted by nwpu_ranger at 2011-07-12 21:16:54:
你用的是什么方法检测的涂层残余内应力？X射线？

X射线测量 会导致结果偏大 对你说的的数值比较大 不排除这种可能
至于压应力 实验次数很少 没有遇见过类似情况
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没有过人的天赋，唯有超人的勤奋
5楼2011-07-13 20:41:25
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nwpu_ranger

木虫 (正式写手)

铁血川军团
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
你用的是什么方法检测的涂层残余内应力？X射线？
赞一下(1人) 回复此楼
没有过人的天赋，唯有超人的勤奋
2楼2011-07-12 21:16:54
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永远爱家的YY

金虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by nwpu_ranger at 2011-07-12 21:16:54:
你用的是什么方法检测的涂层残余内应力？X射线？

嗯 是的
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没有人能随随便便成功
3楼2011-07-13 08:35:38
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iamrocky

金虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
你老师说的没错。但不排除由于你实验过程中出了别的状况导致压应力。
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4楼2011-07-13 18:36:51
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