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永远爱家的YY

金虫 (小有名气)

[交流] 采用CVD制备的涂层一般是压应力还是拉应力? 已有5人参与

我测出来CVD制备出的TiCN涂层是压应力的,而且数值还很大。
  但老师说一般CVD制备出来的涂层都是拉应力,而且理论来说这种涂层的应力应该很小的。
不知各位有测过这方面的涂层的应力吗?
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镀膜与膜层或涂层检测 硬质合金涂层

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没有人能随随便便成功
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iamrocky

金虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
你老师说的没错。但不排除由于你实验过程中出了别的状况导致压应力。
4楼2011-07-13 18:36:51
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nwpu_ranger

木虫 (正式写手)

铁血川军团


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
你用的是什么方法检测的涂层残余内应力?X射线?
没有过人的天赋,唯有超人的勤奋
2楼2011-07-12 21:16:54
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永远爱家的YY

金虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by nwpu_ranger at 2011-07-12 21:16:54:
你用的是什么方法检测的涂层残余内应力?X射线?

嗯 是的
没有人能随随便便成功
3楼2011-07-13 08:35:38
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nwpu_ranger

木虫 (正式写手)

铁血川军团


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
Originally posted by nwpu_ranger at 2011-07-12 21:16:54:
你用的是什么方法检测的涂层残余内应力?X射线?

X射线测量 会导致结果偏大 对你说的的数值比较大 不排除这种可能
至于压应力 实验次数很少 没有遇见过类似情况
没有过人的天赋,唯有超人的勤奋
5楼2011-07-13 20:41:25
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