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永远爱家的YY

金虫 (小有名气)

[交流] 采用CVD制备的涂层一般是压应力还是拉应力? 已有5人参与

我测出来CVD制备出的TiCN涂层是压应力的,而且数值还很大。
  但老师说一般CVD制备出来的涂层都是拉应力,而且理论来说这种涂层的应力应该很小的。
不知各位有测过这方面的涂层的应力吗?
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没有人能随随便便成功
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iamrocky

金虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
你老师说的没错。但不排除由于你实验过程中出了别的状况导致压应力。
4楼2011-07-13 18:36:51
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