| 查看: 999 | 回复: 4 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
c.hen411金虫 (小有名气)
|
[求助]
求助类金刚石薄膜的PECVD中的问题
|
||
| 各位大虾：我是做用等离子体化学气相沉积（PECVD)做类金刚石薄膜的，我想以CO2,H2，CH4，N2但是CO2对薄膜的刻蚀很严重，现在有一新想法，就是先同CO2/H2气体放电，沉积一段时间，然后在辉光放电时在通入CH4和N2，请问能否在辉光放电时，通入其他气体，这样做能否行通。会对原本稳定的辉光放电产生什么后果？？急急急！ |
回复此楼» 本帖已获得的红花（最新10朵）
周小龙» 猜你喜欢
22408 344分 求调剂 一志愿 华电计算机技术
已经有4人回复
-
材料专硕英一数二306
已经有7人回复
-
南京大学化学376求调剂
已经有6人回复
-
南昌大学材料专硕311分求调剂
已经有5人回复
-
295求调剂
已经有6人回复
-
一志愿南昌大学，327分，材料与化工085600
已经有9人回复
-
294求调剂材料与化工专硕
已经有15人回复
-
308求调剂
已经有3人回复
-
321求调剂
已经有11人回复
-
一志愿中海洋材料工程专硕330分求调剂
已经有8人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 求助关于用PECVD在硅片上生长SiO2的掩膜材料
已经有8人回复
- ☆☆☆求助帖：关于薄膜的红外光谱检测（FTIR）问题。传说标题要长☆☆☆☆☆☆☆
已经有6人回复
- 【求助】咨询非晶硅薄膜电池的制作工艺、测试等问题
已经有6人回复
- 【求助】PECVD沉积SiO2薄膜，结果把机械泵的排风管给腐蚀了！
已经有5人回复
- 【求助】薄膜衣和糖衣问题
已经有12人回复
- 【求助】PECVD生长si薄膜时会出现絮状的白色粉末，一定是被氧化了吗？
已经有11人回复
|
本帖内容被屏蔽 |
4楼2014-06-25 08:24:40
lxh419
金虫 (正式写手)
独孤求败
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 1098.3
- 散金: 587
- 红花: 3
- 帖子: 643
- 在线: 189.6小时
- 虫号: 922156
- 注册: 2009-12-07
- 性别: GG
- 专业: 等离子体物理
【答案】应助回帖
★
c.hen411(金币+5): 好的谢谢啊！这回心里有底了！ 2011-06-10 17:33:53
zhaohaixing(金币+1): thank you for your attention~~~ 2011-06-17 21:59:36
c.hen411(金币+5): 好的谢谢啊！这回心里有底了！ 2011-06-10 17:33:53
zhaohaixing(金币+1): thank you for your attention~~~ 2011-06-17 21:59:36
|
一些PECVD通常先通入Ar等气体放电，让后再通入反应气体。这样做一是利于放电，二是促进气体反应。 是故，个人认为你的想法可行。 一般来说，当放电已经稳定后，再通入气体会对放电产生影响的。 比如：击穿电压改变（化合物的击穿电压较高），当然和通入气体种类和比例密切相关。 考虑到一般所加电压（功率）较大，故不会导致放电熄灭等现象。 估计通入CH4和N2后，辉光放电由稳定→不稳定→稳定。 LZ可大胆尝试！  |
2楼2011-06-10 15:54:58
周小龙
木虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 2990.1
- 散金: 100
- 红花: 3
- 帖子: 540
- 在线: 111.5小时
- 虫号: 932414
- 注册: 2009-12-23
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
3楼2011-07-16 07:49:49
5楼2015-02-05 16:55:13
50