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c.hen411金虫 (小有名气)
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[求助]
求助类金刚石薄膜的PECVD中的问题
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| 各位大虾：我是做用等离子体化学气相沉积（PECVD)做类金刚石薄膜的，我想以CO2,H2，CH4，N2但是CO2对薄膜的刻蚀很严重，现在有一新想法，就是先同CO2/H2气体放电，沉积一段时间，然后在辉光放电时在通入CH4和N2，请问能否在辉光放电时，通入其他气体，这样做能否行通。会对原本稳定的辉光放电产生什么后果？？急急急！ |
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lxh419
金虫 (正式写手)
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【答案】应助回帖
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c.hen411(金币+5): 好的谢谢啊！这回心里有底了！ 2011-06-10 17:33:53
zhaohaixing(金币+1): thank you for your attention~~~ 2011-06-17 21:59:36
c.hen411(金币+5): 好的谢谢啊！这回心里有底了！ 2011-06-10 17:33:53
zhaohaixing(金币+1): thank you for your attention~~~ 2011-06-17 21:59:36
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一些PECVD通常先通入Ar等气体放电，让后再通入反应气体。这样做一是利于放电，二是促进气体反应。 是故，个人认为你的想法可行。 一般来说，当放电已经稳定后，再通入气体会对放电产生影响的。 比如：击穿电压改变（化合物的击穿电压较高），当然和通入气体种类和比例密切相关。 考虑到一般所加电压（功率）较大，故不会导致放电熄灭等现象。 估计通入CH4和N2后，辉光放电由稳定→不稳定→稳定。 LZ可大胆尝试！  |
2楼2011-06-10 15:54:58
周小龙
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