24小时热门版块排行榜

返回列表

当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

c.hen411

金虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 1405.7
帖子: 108
在线: 45.2小时
虫号: 1174891
注册: 2010-12-22
性别: GG
专业: 凝聚态物性 II ：电子结构

[求助] 求助类金刚石薄膜的PECVD中的问题

各位大虾：我是做用等离子体化学气相沉积（PECVD)做类金刚石薄膜的，我想以CO2,H2，CH4，N2但是CO2对薄膜的刻蚀很严重，现在有一新想法，就是先同CO2/H2气体放电，沉积一段时间，然后在辉光放电时在通入CH4和N2，请问能否在辉光放电时，通入其他气体，这样做能否行通。会对原本稳定的辉光放电产生什么后果？？急急急！

回复此楼

1楼2011-06-08 14:55:40

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

周小龙

木虫 (正式写手)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 2990.1
散金: 100
红花: 3
帖子: 540
在线: 111.5小时
虫号: 932414
注册: 2009-12-23
性别: GG
专业: 无机非金属类光电信息与功

★

送鲜花一朵
zhaohaixing(金币+1): 谢谢参与~ 2011-07-16 07:51:29

我在这边是用高频等离子化学气相法3甲基硼为原料气氩气保护合成鹏掺杂类金刚石膜的，做了好多次试验，发现功率和真空度对薄膜影响不小啊！
不知道现在国能这方面研究到什么地步啦，和想交流一下啊！
现在还是本科阶段，在日本！

赞一下(1人)

回复此楼

3楼2011-07-16 07:49:49

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

查看全部 5 个回答

lxh419

金虫 (正式写手)

独孤求败

应助: 2 (幼儿园)
金币: 1098.3
散金: 587
红花: 3
帖子: 643
在线: 189.6小时
虫号: 922156
注册: 2009-12-07
性别: GG
专业: 等离子体物理

【答案】应助回帖

★
c.hen411(金币+5): 好的谢谢啊！这回心里有底了！ 2011-06-10 17:33:53
zhaohaixing(金币+1): thank you for your attention~~~ 2011-06-17 21:59:36

一些PECVD通常先通入Ar等气体放电，让后再通入反应气体。这样做一是利于放电，二是促进气体反应。
是故，个人认为你的想法可行。

一般来说，当放电已经稳定后，再通入气体会对放电产生影响的。
比如：击穿电压改变（化合物的击穿电压较高），当然和通入气体种类和比例密切相关。
考虑到一般所加电压（功率）较大，故不会导致放电熄灭等现象。

估计通入CH4和N2后，辉光放电由稳定→不稳定→稳定。

LZ可大胆尝试！