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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 【求助】PECVD生长si薄膜时会出现絮状的白色粉末，一定是被氧化了吗？
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dashen

禁虫 (小有名气)
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1楼2009-11-04 11:01:20
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙
★ ★ ★
ddx-k(金币+2,VIP+0):xx 11-4 11:15
dashen(金币+1,VIP+0): 11-4 11:27
怎么会呢？貌似真空室漏气，有氧化硅或氮化硅生成？
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没有困难创造困难也要上网。
2楼2009-11-04 11:12:05
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙
★
dashen(金币+1,VIP+0): 11-4 11:27
一般管道中，由于密封不严会有白色氧化硅粉末产生。
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没有困难创造困难也要上网。
3楼2009-11-04 11:16:59
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H_jins

铜虫 (小有名气)
★
dashen(金币+1,VIP+0): 11-4 15:03
漏气 或者管道有水蒸汽。查查管道吧。一定是这样的。我可是过来人哦
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4楼2009-11-04 14:11:55
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dashen

禁虫 (小有名气)
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5楼2009-11-04 15:09:40
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cord

铁杆木虫 (著名写手)
牛啊，这样的状态都敢做实验，不要你的小命了。
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6楼2009-11-05 00:17:39
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dashen

禁虫 (小有名气)
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7楼2009-11-05 12:47:52
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nikeranran

新虫 (初入文坛)
楼主采用的是什么设备啊？
如果固定电池板的工件时聚四氟乙烯的话，这种情况很常见的说
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8楼2010-03-19 17:00:12
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zsemail

银虫 (小有名气)
估计是漏气了，我以前也碰到过此现象！检查管路与阀门
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9楼2010-03-20 21:07:10
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dashen

禁虫 (小有名气)
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10楼2010-09-25 21:38:22
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