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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 【求助】PECVD生长si薄膜时会出现絮状的白色粉末，一定是被氧化了吗？
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vvxd

铜虫 (正式写手)
怎么个情况
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dsd
11楼2010-09-26 00:24:33
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大当家

铜虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
呵呵，学习我是做PECVD销售的，以后多多指教

美国MV-System公司PECVD(等离子增强化学气相沉积)系统能够沉积高质量SiN、SiO、SiO2薄膜、Si3N4 薄膜、非晶硅、碳化硅、太阳能材料、类金刚石、类金刚石薄膜、硬质薄膜、光学薄膜等多种薄膜材料 和炭纳米管(CNT)等。可选用射频(RF)、空阴极高密度等离子体(HCD)源、感应耦合等离子体(ICP)源。该公司采用先进技术和稳定可靠的设计为您提供多方位的服务
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12楼2012-03-08 16:58:53
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