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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 【求助】PECVD生长si薄膜时会出现絮状的白色粉末，一定是被氧化了吗？
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楼1970-01-01 08:00:00
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大当家

铜虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
呵呵，学习我是做PECVD销售的，以后多多指教

美国MV-System公司PECVD(等离子增强化学气相沉积)系统能够沉积高质量SiN、SiO、SiO2薄膜、Si3N4 薄膜、非晶硅、碳化硅、太阳能材料、类金刚石、类金刚石薄膜、硬质薄膜、光学薄膜等多种薄膜材料 和炭纳米管(CNT)等。可选用射频(RF)、空阴极高密度等离子体(HCD)源、感应耦合等离子体(ICP)源。该公司采用先进技术和稳定可靠的设计为您提供多方位的服务
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12楼2012-03-08 16:58:53
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙
★ ★ ★
ddx-k(金币+2,VIP+0):xx 11-4 11:15
dashen(金币+1,VIP+0): 11-4 11:27
怎么会呢？貌似真空室漏气，有氧化硅或氮化硅生成？
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没有困难创造困难也要上网。
2楼2009-11-04 11:12:05
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙
★
dashen(金币+1,VIP+0): 11-4 11:27
一般管道中，由于密封不严会有白色氧化硅粉末产生。
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没有困难创造困难也要上网。
3楼2009-11-04 11:16:59
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H_jins

铜虫 (小有名气)
★
dashen(金币+1,VIP+0): 11-4 15:03
漏气 或者管道有水蒸汽。查查管道吧。一定是这样的。我可是过来人哦
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4楼2009-11-04 14:11:55
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