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c.hen411

金虫 (小有名气)

[求助] 求助类金刚石薄膜的PECVD中的问题

各位大虾：我是做用等离子体化学气相沉积（PECVD)做类金刚石薄膜的，我想以CO2,H2，CH4，N2但是CO2对薄膜的刻蚀很严重，现在有一新想法，就是先同CO2/H2气体放电，沉积一段时间，然后在辉光放电时在通入CH4和N2，请问能否在辉光放电时，通入其他气体，这样做能否行通。会对原本稳定的辉光放电产生什么后果？？急急急！
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周小龙

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1楼 2011-06-08 14:55:40
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lxh419

金虫 (正式写手)

独孤求败

【答案】应助回帖

★
c.hen411(金币+5): 好的谢谢啊！这回心里有底了！ 2011-06-10 17:33:53
zhaohaixing(金币+1): thank you for your attention~~~ 2011-06-17 21:59:36
一些PECVD通常先通入Ar等气体放电，让后再通入反应气体。这样做一是利于放电，二是促进气体反应。
是故，个人认为你的想法可行。

一般来说，当放电已经稳定后，再通入气体会对放电产生影响的。
比如：击穿电压改变（化合物的击穿电压较高），当然和通入气体种类和比例密切相关。
考虑到一般所加电压（功率）较大，故不会导致放电熄灭等现象。

估计通入CH4和N2后，辉光放电由稳定→不稳定→稳定。

LZ可大胆尝试！
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孤舟蓑笠翁，独钓寒江雪。
2楼2011-06-10 15:54:58
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周小龙

木虫 (正式写手)
★
送鲜花一朵
zhaohaixing(金币+1): 谢谢参与~ 2011-07-16 07:51:29
我在这边是用高频等离子化学气相法3甲基硼为原料气氩气保护合成鹏掺杂类金刚石膜的，做了好多次试验，发现功率和真空度对薄膜影响不小啊！
不知道现在国能这方面研究到什么地步啦，和想交流一下啊！
现在还是本科阶段，在日本！
赞一下(1人) 回复此楼
3楼2011-07-16 07:49:49
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zzkejing

禁虫 (正式写手)
本帖内容被屏蔽
4楼2014-06-25 08:24:40
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公主-沙砾

新虫 (初入文坛)
师兄，你好，我想求助一下，咱们国内哪些地方能够做PECVD外延生长DCL薄膜呢？
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5楼2015-02-05 16:55:13
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