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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 电子束光刻磁控溅射金属剥离问题
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cuilin0512

木虫 (著名写手)

[求助] 电子束光刻磁控溅射金属剥离问题

电子束光刻磁控溅射金属剥离问题
首先在蓝宝石基片上预溅射一薄层铝膜，作用导电
1.采用双层胶copolymer/PMMA利用电子束曝光图形
      copolymer 2000rpm  150度 15分钟
      2%PMMA  2000rpm  180度 10分钟
2.显影 40秒 MIBK : IPA = 1 : 3
   定影 20秒 IPA
3.磁控溅射100nm金属铝膜 直流60W  70度 0.2pa  靶基距5cm
4.丙酮去胶泡24小时 丙酮超声5分钟 酒精超声5分钟
我的SEM图片显示：

1.圆形尺寸300nm间距600nm 开口300剂量1.6   

2.圆形尺寸500nm间距1000nm 开口300剂量1.4

3.圆形尺寸700nm间距1400nm 开口500剂量1.8


下面是单个图形的局部放大

就像以上图片显示：
求教各位在图形周围有一个黑环，不知道什么原因？如何改善？

[ Last edited by cuilin0512 on 2011-5-22 at 12:55 ]
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开开心心每一天！
1楼 2011-05-22 12:48:06
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cuilin0512

木虫 (著名写手)
希望大家指点啊
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开开心心每一天！
2楼2011-05-23 08:50:49
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cuilin0512

木虫 (著名写手)
希望大家指点啊
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开开心心每一天！
3楼2011-05-24 09:23:52
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pengruis

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

cuilin0512(金币+10): 2011-05-24 17:29:49
有可能是过刻或过显引起的
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4楼2011-05-24 14:36:43
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jinjie_led

金虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

减少剂量    显影60秒 MIBK : IPA = 1 : 1
                  纯水        30秒

加速电压多少？写厂多大？多少dot?
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5楼2011-06-16 08:20:44
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Annica

新虫 (初入文坛)
用的什么品牌的设备。
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6楼2014-02-26 13:10:31
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realreak

金虫 (初入文坛)
有没有做过竖拍sem图？

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永远都不晚
7楼2014-07-12 14:39:42
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cuilin0512

木虫 (著名写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by realreak at 2014-07-12 14:39:42
有没有做过竖拍sem图？

退火后，侧拍过，是立体的。
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开开心心每一天！
8楼2014-07-14 00:17:16
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realreak

金虫 (初入文坛)
引用回帖:
8楼: Originally posted by cuilin0512 at 2014-07-14 00:17:16
退火后，侧拍过，是立体的。...

可以把图放上来吗，清晰点的。应该能看出来

[ 发自小木虫客户端 ]
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永远都不晚
9楼2014-07-14 01:01:21
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opticalelec

新虫 (著名写手)
黑环是不是残胶？

发自小木虫Android客户端
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10楼2018-03-01 13:42:12
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