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电子束光刻磁控溅射金属剥离问题
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电子束光刻磁控溅射金属剥离问题 首先在蓝宝石基片上预溅射一薄层铝膜，作用导电 1.采用双层胶copolymer/PMMA利用电子束曝光图形 copolymer 2000rpm 150度 15分钟 2%PMMA 2000rpm 180度 10分钟 2.显影 40秒 MIBK : IPA = 1 : 3 定影 20秒 IPA 3.磁控溅射100nm金属铝膜 直流60W 70度 0.2pa 靶基距5cm 4.丙酮去胶泡24小时 丙酮超声5分钟 酒精超声5分钟 我的SEM图片显示： 1.圆形尺寸300nm间距600nm 开口300剂量1.6  2.圆形尺寸500nm间距1000nm 开口300剂量1.4  3.圆形尺寸700nm间距1400nm 开口500剂量1.8  下面是单个图形的局部放大  就像以上图片显示： 求教各位在图形周围有一个黑环，不知道什么原因？如何改善？ [ Last edited by cuilin0512 on 2011-5-22 at 12:55 ] |
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