| 查看: 3752 | 回复: 9 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
cuilin0512木虫 (著名写手)
|
[求助]
电子束光刻磁控溅射金属剥离问题
|
|
|
电子束光刻磁控溅射金属剥离问题 首先在蓝宝石基片上预溅射一薄层铝膜，作用导电 1.采用双层胶copolymer/PMMA利用电子束曝光图形 copolymer 2000rpm 150度 15分钟 2%PMMA 2000rpm 180度 10分钟 2.显影 40秒 MIBK : IPA = 1 : 3 定影 20秒 IPA 3.磁控溅射100nm金属铝膜 直流60W 70度 0.2pa 靶基距5cm 4.丙酮去胶泡24小时 丙酮超声5分钟 酒精超声5分钟 我的SEM图片显示： 1.圆形尺寸300nm间距600nm 开口300剂量1.6  2.圆形尺寸500nm间距1000nm 开口300剂量1.4  3.圆形尺寸700nm间距1400nm 开口500剂量1.8  下面是单个图形的局部放大  就像以上图片显示： 求教各位在图形周围有一个黑环，不知道什么原因？如何改善？ [ Last edited by cuilin0512 on 2011-5-22 at 12:55 ] |
回复此楼» 猜你喜欢
求助一篇MEMS散热器件文献
已经有0人回复
-
材化专业SCI论文（职称评定）
已经有0人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有130人回复
-
材料化学专业SCI论文（职称评定）
已经有0人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 求助开设纳米技术这个学科都需要购置哪些设备
已经有11人回复
- 掩膜板精度固定方法
已经有5人回复
- 电子束蒸发镀膜和磁控溅射镀膜所得薄膜有什么区别？
已经有17人回复
- 【求助】请教磁控溅射金属膜问题
已经有23人回复
- 【求助】请问下北京哪里可以做电子束曝光系统（EBL）或者聚焦离子束（FIB）？
已经有6人回复
- 【资源】电子束光刻技术
已经有32人回复
realreak
金虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1569.6
- 帖子: 40
- 在线: 60.2小时
- 虫号: 451976
- 注册: 2007-11-05
- 性别: GG
- 专业: 半导体电子器件
7楼2014-07-12 14:39:42
cuilin0512
木虫 (著名写手)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 1859.8
- 散金: 1600
- 红花: 12
- 帖子: 1019
- 在线: 6778.9小时
- 虫号: 641563
- 注册: 2008-10-31
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
3楼2011-05-24 09:23:52
pengruis
木虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 3934.9
- 红花: 1
- 帖子: 892
- 在线: 211.2小时
- 虫号: 205865
- 注册: 2006-03-03
- 专业: 新型信息器件
4楼2011-05-24 14:36:43
jinjie_led
金虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 773.2
- 红花: 1
- 帖子: 46
- 在线: 96.7小时
- 虫号: 750873
- 注册: 2009-04-17
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
5楼2011-06-16 08:20:44
