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汕头大学海洋科学接受调剂
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wsyuhang

银虫 (小有名气)


[交流] 这里有人做干涉光刻吗?

正在搭建干涉光刻的光路,可是中间遇到一些问题,想找人讨论下。。。。。
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Apple.D.

金虫 (正式写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
楼主,你好!
我现在在做这方面的研究,希望能和你做一些交流,email:tongtong0303@126.com
5楼2013-05-14 09:01:01
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wsyuhang

银虫 (小有名气)


引用回帖:
1406277楼: Originally posted by dugu at 2011-06-08 19:56:08:
啥问题?

我现在用5mW 的He-Ne激光器,请问激光器如果到寿命是否对干涉光刻结果有影响?还有我想问下做小周期的样品对于ARC(抗反射涂层)的依赖度有多大,我现在做这些又狠多问题,解决不了啊,郁闷ing
4楼2012-05-03 14:55:09
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