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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 这里有人做干涉光刻吗？
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wsyuhang

银虫 (小有名气)

[交流] 这里有人做干涉光刻吗？

正在搭建干涉光刻的光路，可是中间遇到一些问题，想找人讨论下。。。。。
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1楼2011-05-15 10:31:09
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Apple.D.

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
楼主，你好！
我现在在做这方面的研究，希望能和你做一些交流，email：tongtong0303@126.com
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5楼2013-05-14 09:01:01
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wsyuhang

银虫 (小有名气)
引用回帖:
1406277楼: Originally posted by dugu at 2011-06-08 19:56:08:
啥问题？

我现在用5mW 的He-Ne激光器，请问激光器如果到寿命是否对干涉光刻结果有影响?还有我想问下做小周期的样品对于ARC（抗反射涂层）的依赖度有多大，我现在做这些又狠多问题，解决不了啊，郁闷ing
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4楼2012-05-03 14:55:09
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