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[交流]
磁控溅射镀膜时旋转基片台实时测温装置如何安装？ 已有1人参与
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用反应磁控溅射镀TiO2薄膜时，基片台是旋转的，如果想测试实时的基片温度应该怎么办？ 文献中说用K型热电偶，怎样才能在旋转的基片台上使用呢？ 因为反应溅射温升比较大，所以希望能够实时测试。。。。请高手解答！！ |
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 反应磁控溅射 |
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小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
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3楼2011-04-19 22:25:54
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概述： 英国"温度美(TMC)"牌Thermax系列 温度测试纸采用温度测量的新概念,在小型贴纸上有一列方格或圆点,代表不同的温度值,当温度上升至该温度点时,方格会转变成黑色,即使温度降低后也不会回复到原来的颜色,这样便可以知道物体曾经历过的最高温度,不需要长时间在旁边监视就可以知道物体是否有超温现象,利用该 温度测试纸作为品质合格的有力证据,温度测试纸有多种款式可供选择购买. 产品符合BS ENISO9001标准,温度测试纸可以测量气温和体温,温度测试纸也可以用来检查机器运转时的温度变化。 温度测试纸能够得出物体曾经历过的最高温度,从而可以知道是否有超温现象。温度测试纸有抗油性和抗水性,无危险性和毒性。 准确度: 100℃以下是±1℃，100度以上是±1%(量程) 用途： 家电工业 电器外壳的彩铜材料需要配合涂料和合适温度烘烤，才能获得最佳效果.在喷涂工序前，利用 温度测试纸测试及判断是否达到所需温度。 电力公司(发电及配电) 将温度测试纸贴于发电机，电动机，变压器上，如发觉超温即表示系统中的某部分曾经出现问题，可立即寻求排解以预防发生重大事故。 铁路公司 将 温度测试纸贴于车轮，轴箱，路轨上，定时检查是否超温，可确保车辆正常运转及行车安全 电子工业 有些电阻组件，印刷线路板等如于运输中偶遇高温，便足以损坏其正常功能，因此转运时将 温度测试纸贴于组件上，收货方看到未曾超温便可放心使发货方也可以将此作为品质合格的证据。 程序工业 将温度测试纸附于需作加热程序的物件上一同加热，便可得知是否达到或是已超越所需的温度，如纺织上可熔里衬的结合，鞋类等制品的胶缝，漆品的烘烤等。 医药卫生 温度测试纸可保证器具，样品等的杀菌及消毒已达到所需温度. 其他如直升机发动机，高压开关，飞机黑盒,冷却水散热器，温度敏感化学品存储架以及赛车各部位的温度检测 规格: 英国THERMAX 8格温度测试纸 (尺寸：51x18mm 每包10条) |
2楼2011-04-18 20:39:57